| 年度 | 年份 | 姓名(系) | 姓名(所) |
| 52 | 1963 | – | |
| 53 | 1964 | 馮士煜 | |
| 54 | 1965 | 溫鼎勳 | |
| 55 | 1966 | 張去疑 | |
| 56-57 | 1967-1968 | 陳榮淦 | |
| 58 | 1969 | 彭松村 | |
| 59 | 1970 | 陸永平 | |
| 60 | 1971 | 張俊彥 | |
| 61 | 1972 | 祈甡 | |
| 62-66 | 1973-1977 | 黃廣志 | |
| 67-69 | 1978-1980 | 周勝次 | |
| 70-72 | 1980-1983 | 郭義雄 | 成立光電工程研究所 |
| 73 | 1984 | 褚德三 | |
| 74 | 1985 | 韓建珊 | |
| 75 | 1986 | 謝正雄 | |
| 76 | 1987 | 楊宗哲(系) | 謝正雄(光電工程研究所所長) |
| 77 | 1988 | 韓建珊 | 光電工程研究所獨立 成立電子物理研究所碩士班 |
| 78-80 | 1989-1991 | 黃凱風 | 成立電子物理研究所博士班 |
| 81 | 1992 | 李明知(系) | 謝太炯(電子物理研究所所長) |
| 82 | 1993 | 謝太炯(系) | 李明知(電子物理研究所所長) |
| 83-85 | 1994-1997 | 趙如蘋 | 李明知(電子物理研究所所長) |
| 86-88 | 1997-1999 | 吳光雄 | |
| 89-91 | 2000-2002 | 莊振益 | |
| 92-97 | 2003-2005 | 朱仲夏 | |
| 95-97 | 2006-2009 | 陳振芳 | |
| 98-99 | 2009-2010 | 趙天生 | |
| 100-101 | 2011-2012 | 陳永富 | |
| 102-104 | 2013-2015 | 周武清 | |
| 105-107 | 2016-2018 | 陳衛國 | |
| 108-110 | 2019-2021 | 林烜輝 | |
| 111-114 | 2022-2025 | 鄭舜仁 | |
| 114-至今 | 2025- | 羅志偉 |
