歷屆系主任
年度年份姓名(系)姓名(所)521963- 531964馮士煜 541965溫鼎勳 551966張去疑 56-571967-1968陳榮淦 581969彭松村 591970陸永平 601971張俊彥 611972祈甡 62-661973-1977黃廣志 67-691978-1980周勝次 70-721980-1983郭義雄 成立光電工程研究所731984褚德三 741985韓建珊 751986謝正雄 761987楊宗哲(系)謝正雄(光電工程研究所所長)771988韓建珊 光電工程研究所獨立成立電子物理研究所碩士班78-801989-1991黃凱風成立電子物理研究所博士班811992李明知(系)謝太炯(電子物理研究所所長)821993謝太炯(系)李明知(電子物理研究所所長)83-851994-1997趙如蘋李明知(電子物理研究所所長)86-881997-1999吳光雄 89-912000-2002莊振益 92-972003-2005朱仲夏 95-972006-2009陳振芳 98-992009-2010趙天生 100-1012011-2012陳永富 102-1042013-2015周武清 105-1072016-2018陳衛國 108-1102019-2021林烜輝 111-1142022-2025鄭舜仁 114-至今2025-羅志偉